中測(cè)光科(福建)技術(shù)有限公司,作為一家專注于激光加工設(shè)備研發(fā)的高新技術(shù)企業(yè),致力于滿足市場(chǎng)多樣化的需求。公司自主研發(fā)的三維激光加工設(shè)備MS-LP,以其高性價(jià)比在業(yè)界脫穎而出,成為眾多企業(yè)的首選。
該設(shè)備的設(shè)計(jì)靈活性極高,能夠適配納秒、皮秒和飛秒激光器,這意味著它能夠根據(jù)不同的材料特性和加工需求,選擇最合適的激光器進(jìn)行工作。此外,設(shè)備支持多種波長(zhǎng)的激光輸出,進(jìn)一步拓寬了其應(yīng)用范圍,使其能夠處理更多種類的材料。
為了提升加工精度和效率,該設(shè)備還整合了三維運(yùn)動(dòng)平臺(tái),這使得它在進(jìn)行激光鉆孔、激光標(biāo)刻、激光切割和雕刻成型等微加工操作時(shí),能夠?qū)崿F(xiàn)更加精細(xì)和復(fù)雜的加工效果。無(wú)論是在電子行業(yè)進(jìn)行精細(xì)的電路板加工,還是在醫(yī)療領(lǐng)域進(jìn)行高精度的醫(yī)療器械制造,該設(shè)備都能夠提供卓越的性能。
 
| 產(chǎn)品名稱 | 三維激光加工設(shè)備 | 
| 測(cè)量激光波長(zhǎng) | 355nm、532nm、1064nm、2μm | 
| 脈沖類型 | 納秒、皮秒、飛秒 | 
| 加工精度 | <5μm | 
| 熱影響區(qū)/崩邊大小 | <2 μm | 
| 加工幅面 | >400 mm×400 mm | 
 
飛秒激光加工原理及優(yōu)勢(shì)
在傳統(tǒng)的使用長(zhǎng)脈沖激光(微秒、納秒等)進(jìn)行材料加工應(yīng)用中,激光與材料的主要相互作用是將激光能量轉(zhuǎn)化為熱效應(yīng),以使材料熔化和氣化現(xiàn)象,從而實(shí)現(xiàn)材料的去除。然而,該過(guò)程中,由于熱量的累積,會(huì)形成較大且強(qiáng)烈的熱影響區(qū)(HAZ)。該熱影響區(qū)域會(huì)使得材料加工區(qū)域過(guò)熱形變、熔邊、氧化發(fā)黑、殘?jiān)⒚叺炔焕绊懀瑥亩斐刹豢山邮艿墓δ芑蛲庥^損壞。
飛秒激光的脈沖時(shí)間短,能夠抑制激光作用區(qū)域周圍的熱影響區(qū)的產(chǎn)生,因而可以實(shí)現(xiàn)材料的高質(zhì)量加工。這是由于飛秒激光的脈寬小于光與物質(zhì)相互作用中電子聲子的耦合時(shí)間(1-100ps),此時(shí)激光能量大部分被電子所吸收并迅速轉(zhuǎn)移給晶格,而沒(méi)有熱擴(kuò)散損耗。因此,飛秒激光輻照區(qū)周圍的熱擴(kuò)散可以忽略,上圖(a)是傳統(tǒng)激光器加工時(shí)材料的熱影響,圖(b)是采用飛秒激光加工時(shí)材料的熱影響區(qū)。
飛秒激光打孔硬脆材料
硬脆材料由于具有高導(dǎo)熱、強(qiáng)絕緣性而成為集成電路基板、半導(dǎo)體封裝、溫敏元件組件的最佳材料。但是由于屬于脆性材料,所以在加工的時(shí)候容易斷裂崩碎。傳統(tǒng)的刀具切割或者超聲波加工存在表面粗糙度較大,加工精度低等問(wèn)題,而長(zhǎng)脈沖激光的加工存在熱效應(yīng)顯著,伴隨著大量殘?jiān)锏膯?wèn)題。以飛秒激光為代表的超短脈沖激光加工不但可以突破衍射極限進(jìn)行精細(xì)加工,而且可以實(shí)現(xiàn)低能耗高效率的冷加工。材料打孔是利用激光的高功率可以直接移除材料的特性的一種應(yīng)用。
    飛秒激光脈沖一般是遵循高斯分布的,所以只要使得脈沖的峰值功率密度稍微超過(guò)材料的閾值能量密度,就可以加工出很小尺寸的小孔,甚至可以超越衍射極限。飛秒脈沖激光的作用時(shí)間短暫,相比于長(zhǎng)脈沖的打孔,小孔周圍的熱影響區(qū)域更弱,小孔表面的殘?jiān)伲梢垣@得更高的深徑比。
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