激光微加工,也稱為激光束微加工,是一種專門用于處理非常精細結構的激光加工技術,其加工精度通常在幾微米到幾百微米之間。盡管加工的零件本身不一定非常小,但至少在其上制造的結構(如孔、凹槽或圖案)需要達到微米級的精度。這種高精度的要求使得激光微加工成為精密加工領域的一個重要分支,盡管精密加工并不總是等同于微加工。

激光微加工的典型方法包括鉆孔、切割、銑削、標記和構造等。在這些方法中,微鉆孔是最為常見的應用,從銷售的機器數量來看,微鉆孔占據了主導地位。值得注意的是,術語“加工”通常僅適用于減材方法,因此“激光微加工”這一術語比“微加工”更為通用,它還包括了微尺度上的激光增材制造方法(如立體光刻)和微連接方法(如微焊接和釬焊)。然而,由于減材方法在實際應用中占據主導地位,因此“微加工”這一術語比“激光微加工”使用得更為頻繁。
與宏加工相比,激光微加工面臨的競爭較少,同時一些典型的限制(如去除材料時相對較高的能量輸入)也不太重要。這些因素,加上對各種微型零件需求的不斷增長,使得激光微加工成為一種特別重要的激光應用。通過這種技術,中測光科相信可以實現對材料的高精度加工,滿足現代工業對微型化、精密化零件的需求。
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